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文 | 華商韜略 付磊
時(shí)代在發(fā)展 , 科技在進(jìn)步 , 如果說科技是一個(gè)國家強(qiáng)盛的根基 , 那么半導(dǎo)體芯片的制造則代表著人類科技的發(fā)展水平 , 而光刻機(jī)則是芯片制造中必不可少的一部分 。
如今 , 我國能夠生產(chǎn)的光刻機(jī)是第四代的ArFDE 90nm制程 , 然而世界上最先進(jìn)的光刻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)ASML已經(jīng)可以做到生產(chǎn)EVU的7nm制程量產(chǎn) 。 因此我國的光刻機(jī)技術(shù)水平仍然需要不斷努力突破 , 才能彌補(bǔ)這個(gè)差距 。
【中國光刻機(jī)的三次“突破”】
在1952年 , 我國步入計(jì)算機(jī)科研 , 國家也正是成立了計(jì)算機(jī)科研小組 , 而此時(shí)的中國相對于外國來講 , GDP仍然差距較大 。
直到1956年 , 我國正式開始重視半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) , 并且成功研制出第一只晶體三極管 , 從此中國進(jìn)入半導(dǎo)體的新紀(jì)元 , 然而此時(shí)相對世界上第一只三極管的誕生已經(jīng)過去了長達(dá)9年的時(shí)間 。
伴隨著晶體管的研發(fā)成功 , 我國相關(guān)的科研進(jìn)度也飛速加快 , 然而“天公不作美” , 盡管我國努力在向著光刻機(jī)制造產(chǎn)業(yè)前進(jìn) , 但仍然困難重重 。
1961年 , 美國GCA公司成功制造出第一臺接觸式光刻機(jī) , 再加上新中國建立初期 , 美國、英國等17個(gè)國家就成立了國際巴黎統(tǒng)籌委員會(huì) , 主要是為了限制成員國向發(fā)展中國家出口物資和高新技術(shù) , 中國也在封禁的行列之中 。
而光刻機(jī) , 也被該委員會(huì)列為尖端科技產(chǎn)品 , 對于中國實(shí)施禁運(yùn) , 此時(shí)的中國也正式遭遇第一次“高科技卡脖” 。
基礎(chǔ)實(shí)力差 , 加上外國這樣的“絆腳石” , 讓中國不得不主張自行研發(fā) 。
1977年 , 歷經(jīng)10年之久的中國經(jīng)過自己的不懈努力 , 上海光學(xué)機(jī)械廠成功制造出JKG-3型接觸式半自動(dòng)光刻機(jī) 。
這也代表著此時(shí)的中國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)正在緊跟外國的科技發(fā)展步伐 , 然而真正距離美國制造出的光刻機(jī)已經(jīng)相差近二十年 , 并且就在同年 , 美國再次推出了真正的自動(dòng)化光刻機(jī) 。
后來的中國通過老一輩的科研工作者努力 , 正在一切向著前進(jìn)的方向發(fā)展 , 然而本以為將會(huì)順利發(fā)展、步入快車道的中國光科技產(chǎn)業(yè) , 在1984年遭遇了“中斷” 。
伴隨著日后光刻機(jī)市場霸主ASML的誕生而打破 , 并且隨著中國重視重心逐步趨向于其他行業(yè) , 中國在80年代底 , 開始主張“造不如買”的政策 。 使得自身的科研進(jìn)度逐步減緩 , 以至于中國的集成電路在科研、教育等方面出現(xiàn)脫節(jié) , 自主研發(fā)的道路越走越窄 。
取而代之的是數(shù)以萬千的廉價(jià)勞動(dòng)力 , 盡管后來盡力去跟進(jìn)研發(fā) , 但由于自身發(fā)展原因加上大環(huán)境影響 , 導(dǎo)致曾經(jīng)輝煌一時(shí)的半導(dǎo)體盛景已然成為“泡沫” 。 這也代表著中國由于自身原因遭遇第二次“卡脖” 。
歷時(shí)20年之久 , 中國光刻機(jī)技術(shù)一直卡在193nm無法突破 , 中國隨著發(fā)展也逐漸認(rèn)識到半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要性 , 開始探討突破193nm的方法 。 而此時(shí)的ASML卻已經(jīng)開始了EUV光刻機(jī)的研發(fā)工作 , 并且成功在2010年正式研發(fā)出第一臺EVU原型機(jī) 。
此時(shí)的中國就已經(jīng)意識到了其重要性 , 快速向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)進(jìn)軍 。 恰巧2000年的中國 , 正是大量愛國人士回國創(chuàng)業(yè)的時(shí)代 , 他們帶著外國的先進(jìn)知識和經(jīng)驗(yàn) , 進(jìn)一步促使中國半導(dǎo)體的產(chǎn)業(yè)得到光速發(fā)展 。
2007年 , 上海微電子宣布研制出90nm的分布式投影光刻機(jī) , 但由于大多數(shù)元器件來自國外 , 西方國家再次禁運(yùn) , 導(dǎo)致無法量產(chǎn) 。 后來國家為了解決這一難題 , 除了抓緊整機(jī)制造 , 還開始扶持一系列配套產(chǎn)業(yè)鏈的發(fā)展 , 在不懈努力下 , 光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)也成功在2016年實(shí)現(xiàn)90nm的光刻機(jī)量產(chǎn) 。
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